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[其他]一種非接觸式微波測量半導體材料少子壽命的裝置無效

專利信息
申請號: 86101518 申請日: 1986-07-25
公開(公告)號: CN1003094B 公開(公告)日: 1989-01-18
發明(設計)人: 王宗欣 申請(專利權)人: 復旦大學
主分類號: G01N22/00 分類號: G01N22/00
代理公司: 上海高校專利事務所 代理人: 王福新,樓濤
地址: 上海市邯鄲*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 發明提供了一種用介質波導加紅外光源非接觸測試半導體材料少子壽命及電阻率的裝置。該裝置的測試結果與常規的有接觸方法一致、操作簡便,能夠測量不同厚度片狀樣品的少子壽命以及同一樣品上不同部位少于壽命的差異。由于是非接觸測試,對于拋光片、離子注入片以及經過各種化學處理的半導體薄片尤為適宜,能夠做到無損傷、無沾污。在集成電路、半導體器件的生產過程中可用作材料檢驗和工藝監控的重要手段。
搜索關鍵詞: 一種 接觸 式微 測量 半導體材料 少子 壽命 裝置
【主權項】:
1.一種非接觸式微波測量半導體材料少子壽命的裝置,由微波源、光源、測試頭子及微波檢測器四部分組成,本發明的特征在于:該裝置的測試頭子由以下三個部件組成:a.上部件[1],其水平方向上的一端是一個呈尖劈形的介質波導一波導過渡,它接在檢波器波導[7]的波導口內,上部件的中間為矩形截面的介質波導,它的另一端是一個直角彎角,彎角與測試平臺的臺面垂直,在彎角的垂直部分開有一個上大下小的穿通圓孔[2],圓孔的上方為光源[9],垂直部分的底端為帶圓孔的矩形測量面。b.下部件[4]的頂端與上部件[1]的垂直部分的底端的截面大小相同、位置對準,中間為同樣截面的矩形介質波導,下部件[4]的另一端為一個呈尖劈形的波導一介質波導過渡,它接在與微波源相連的衰減器波導[6]的波導口內。c.放置樣品的介質測試平臺[3],位于上部件彎角的垂直部分的底端和下部件[4]的頂端之間:測試平臺[3]的下方開有一個大于下部件[4]中介質波導矩形截面的圓型或矩形凹穴,用以容納下部件[4]的介質波導,上方為一放置待測樣品[5]的平面。
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