[其他]氧化錫薄膜氣敏元件無效
| 申請號： | 86102281 | 申請日： | 1986-04-05 |
| 公開（公告）號： | CN86102281A | 公開（公告）日： | 1987-10-14 |
| 發明（設計）人： | 松本毅;岡田治;中村裕司 | 申請（專利權）人： | 大阪瓦斯株式會社 |
| 主分類號： | G01N27/12 | 分類號： | G01N27/12;H01L49/00 |
| 代理公司： | 中國專利代理有限公司 | 代理人： | 肖春京 |
| 地址： | 日本大阪府大*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | 在氧化錫薄膜氣敏元件中，用CuK作為射線源進行氣體檢測表面的單晶取向性和結晶性的X線衍射時，設其最強衍射線強度為I1，第二、第三、第四和第五強的衍射線強度分別為I2、I3、I4和I5，此時，這些衍射線強度的兩者或三者之間有一種特定的數值關系，而且最強衍射線強度的半值寬度大于某一特定值。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 氧化 薄膜 元件 | ||
【主權項】：
1、氧化錫薄膜氣敏元件的特征如下：在氧化錫薄膜氣敏元件中，用CuK作為射線源對氣體檢測表面的單晶取向性和結晶性作X線衍射時，設最強衍射線強度為I1，第二、第三、第四和第五強的衍射線強度分別為I2、I3、I4和I5，這時(a)(211)面或者(110)面的線強度最強，I2/I1≤0.6，I1的半值寬度大于0.58；或者(b)I1是(110)面或(101)面的線強度，I2為(101)面或(110)面的線強度。I2/I1≥0.5，I3/I2＜0.6，I1的半值寬度大于0.54；或者(c)I1是(110)面或者(211)面的線強度，I2是(101)面或(110)面的線強度，I2/I1≥0.5，I3/I2＜0.6，I1的半值寬度大于0.58；或者(d)I1、I2、和I3分別為(110)面、(101)面和(211)面的任何一面的線強度，I3/I1≥0.5，I4/I3＜0.6，I1的半值寬度大于0.61；或者(e)I1、I2、I3和I4分別為(110)面、(101)面、(211)面和(301)面中任一面的線強度，I4/I1≥0.5，I5/I4＜0.6，I1的半值寬度大于0.73；或者(f)I1為(301)面的線強度，I2/I1≤0.6，I1的半值寬度大于0.60；或者(g)I1為(211)面或(301)面的線強度，I2為(301)面或(211)面的線強度，I2/I1≥0.5，I3/I2＜0.6，I1的半值寬度大于0.3。
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