[其他]在無機(jī)非導(dǎo)體表面產(chǎn)生金屬結(jié)構(gòu)物的方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 86102468 | 申請日： | 1986-04-16 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN86102468A | 公開（公告）日： | 1986-10-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 哈拉德·蘇爾;厄恩斯特·費(fèi)尤爾;查斯蒂安·奧爾 | 申請（專利權(quán)）人： | 舍林股份公司 |
| 主分類號(hào)： | C23C14/04 | 分類號(hào)： | C23C14/04;C23C14/18;H05K3/06 |
| 代理公司： | 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利代理部 | 代理人： | 陸麗英 |
| 地址： | 聯(lián)邦德國10*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 本發(fā)明涉及一種在無機(jī)非導(dǎo)體表面上產(chǎn)生金屬結(jié)構(gòu)物的工藝方法，其特征在于所需結(jié)構(gòu)物在此表面上產(chǎn)生是借助于掩模、漆層或其它保護(hù)材料；如此處理的物體在光輻射區(qū)中，受到含鹵活性氣體的作用；在反應(yīng)結(jié)束后，除掉保護(hù)材料；用眾所周知的物理方法使物體金屬化，在金屬化之后，為了產(chǎn)生所需的結(jié)構(gòu)物，將物體放入水或絡(luò)合物、酸、堿的水溶液中，或溶解合成金屬鹵化物的物質(zhì)中。 | ||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 無機(jī) 非導(dǎo)體 表面 產(chǎn)生 金屬結(jié)構(gòu) 方法 | ||
【主權(quán)項(xiàng)】：
1、在無機(jī)非導(dǎo)體表面產(chǎn)生金屬結(jié)構(gòu)物的方法其特征在于：所需結(jié)構(gòu)物在表面上形成是借助于掩模、漆層或其它的覆蓋材料；如此處理過的物體在光輻射區(qū)內(nèi)受到含鹵活性氣體的作用；在反應(yīng)結(jié)束后，除掉覆蓋材料；物體用眾所周知的物理方法進(jìn)行金屬化；在金屬化之后，為了產(chǎn)生所需的結(jié)構(gòu)物，將此物體放入水中，或絡(luò)合物、酸、堿的水溶液中，或溶解合成的金屬鹵化物的物質(zhì)中。
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
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