[其他]含有環(huán)狀氟化磺酸鹽表面活性劑蝕刻溶液無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 86103055 | 申請(qǐng)日： | 1986-04-29 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN86103055A | 公開(kāi)（公告）日： | 1986-11-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 羅納德·詹姆斯·霍普金斯;伊萬(wàn)·高爾·湯姆斯;哈羅德·約翰·基塔 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 阿蘭德公司 |
| 主分類號(hào)： | C09K13/00 | 分類號(hào)： | C09K13/00 |
| 代理公司： | 上海專利事務(wù)所 | 代理人： | 全永留 |
| 地址： | 美國(guó)新澤西州0796*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | 本發(fā)明提供了改進(jìn)的二氧化硅蝕刻劑，由把作為表面活性劑的可溶性環(huán)狀氟化磺酸鹽添加到集成電路制作中所用的標(biāo)準(zhǔn)的氧化物蝕刻劑溶液中而獲得的。 | ||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 含有 環(huán)狀 氟化 磺酸鹽 表面活性劑 蝕刻 溶液 | ||
【主權(quán)項(xiàng)】：
1、一種包含可溶性表面活性劑且阻止表面活性劑沉淀的蝕刻溶液，其特征在于所說(shuō)的溶液包括氟化銨和表面活性劑的一種水狀混合物，所說(shuō)混合物含有氟化銨(NH4F)13.5-45(重量)%以及具有以下結(jié)構(gòu)式的氟化環(huán)烷烴磺酸鹽和(或)氟化環(huán)烯烴磺酸鹽25-2000PPm，式中：n為小于等于6的一個(gè)數(shù)值，X可以是F、Cl、H、OH、SSO4A、R或者可略去R，Y可以是F-、Cl、H、OH-、R或者可略去R、A可以是H+、NH+4、Na+、K+、Li+、R+或者NR+4，其中R為1-4個(gè)碳原子的烷基和(或)氟烷基及它們的混合物，其余為水。
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