[其他]改進的電弧汽相淀積方法及設備無效
| 申請號： | 86104365 | 申請日： | 1986-06-27 |
| 公開（公告）號： | CN86104365A | 公開（公告）日： | 1987-05-20 |
| 發明（設計）人： | 克拉克·伯格曼 | 申請（專利權）人： | 安達爾公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利代理部 | 代理人： | 郁玉成 |
| 地址： | 美國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | 一種在電弧汽相淀積涂層過程中使陰極亮點維持在露出的所需陰極汽化表面上的改進方法及設備。在淀積室中，相對于陰極對第一陽極進行構制設置，以維持陽、陰極間的電弧。相對偏壓網絡維持室內第一陽極與其它導電表面或室內壁間的電位差，使離開陰極的電子被拉向第一陽極比被拉向其它表面更多。陽極在室內的方位使電子被拉向陽極，以使陰極亮點保持在所需陰極汽化表面上，維持了低電弧電流水平下電弧的穩定性。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 改進 電弧 汽相淀積 方法 設備 | ||
【主權項】：
1、一種適用于在抽空的淀積室中，利用發生于一個消耗涂層材料源陰極與一個陽極之間電弧所形成的涂層等離子體在基片上進行汽相淀積的工藝方法，該工藝方法包括：(a)對淀積室抽真空；(b)在抽了真空的室中，建立陽極消耗涂層材料源陰極之間的第一電位差和電返回通路，此電位差足夠大以保持陰極和陽極之間的電弧放電；(c)激發所述消耗陰極和所述陽極之間的電弧；(d)在所述抽空的室中的至少一個導電表面和所述陰極之間建立第二電位差，該電位差值稍小于所述第一電位差，其中，相對于所述陰極來說，所述陽極比所述的一個導電表面受到更正的電偏壓；(f)相對于所述消耗陰極，如此構制和設置所述淀積室中的所述陽極，使得由所述電弧從所述消耗陰極放出的電子被吸引向所述陽極會比被吸引向所述的一個導電表面更多。
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