[其他]超聲清洗方法和設備無效
| 申請號： | 87101160 | 申請日： | 1987-12-18 |
| 公開（公告）號： | CN87101160A | 公開（公告）日： | 1988-06-29 |
| 發明（設計）人： | 丹尼爾·喬治·奧謝 | 申請（專利權）人： | 伊斯曼柯達公司 |
| 主分類號： | B08B3/12 | 分類號： | B08B3/12;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中國專利代理有限公司 | 代理人： | 程天正,林長安 |
| 地址： | 美國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 一種改進的、用于在液槽中清洗半導體基片的方法和設備，它包括向液槽供給超純水一類流體的裝置和供給液槽中的基片能量的電聲換能器，激勵換能器的頻率范圍大約在20千赫至90千赫之間，在液槽中形成一個致密的、輪廓分明的強旋渦區域。換能器從上面緊挨液面但不接觸液面放置，因而使液槽中湍流量少，避免湍流重新把臟物沉積在已經清洗過的基片表面上。當換能器被激勵時，在換能器和液體之間形成彎月形液面，能令人滿意地把能量傳遞給基片表面。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 超聲 清洗 方法 設備 | ||
【主權項】：
1.在一個上液面基本敞開的儲液槽中用電聲換能器清洗工件的方法包括下列步驟：把工件安放在所述液槽中，使其至少有一個表面外露；供給所述液槽液體；使所述換能器和工件之間產生相對運動，而使工件相對換能器運動；改進部分包括下列步驟：安放換能器，使其能量輻射端面緊挨液面放置，使激勵換能器會在流體中形成一個彎月形液面；用一個能源激勵換能器，使之產生超聲波，在換能器端面和液體之間形成一個彎月形液面，從而把能量傳遞給流體以清洗工件，而在流體中產生最小的湍流。
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