[其他]一種盤形渦輪復合分子泵無效
| 申請號： | 87103994 | 申請日： | 1987-06-03 |
| 公開（公告）號： | CN87103994A | 公開（公告）日： | 1988-12-21 |
| 發明（設計）人： | 朱岳;王孝珍;竺長新 | 申請（專利權）人： | 中國科學院北京真空物理實驗室 |
| 主分類號： | F04D19/04 | 分類號： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 中國科學院專利事務所 | 代理人： | 李紅 |
| 地址： | 北京市海*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本發明涉及一種具有過渡結構部分的盤形渦輪復合分子泵。泵芯結構從高真空端到低真空端依渦輪部分、過渡部分、盤形部分的順序串聯而成。過渡部分中的每一級由一片帶有渦輪葉齒的旋轉動圓盤和一片在盤面上開有特定線形抽氣溝槽的定圓盤組成。這種泵在高真空區和低真空區工作時都能得到理想的大流量和高壓縮比。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 一種 渦輪 復合 分子 | ||
【主權項】：
1、一種泵芯結構具有高真空端是渦輪部分，低真空端是盤形部分按串聯方式構成的盤形渦輪復合分子泵，其特征在于泵芯的渦輪部分和盤形部分之間串接有盤形渦輪結構作為過渡部分結構。
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