[其他]光學式位移檢測裝置無效
| 申請號： | 87106274 | 申請日： | 1987-08-15 |
| 公開（公告）號： | CN87106274A | 公開（公告）日： | 1988-02-24 |
| 發明（設計）人： | 市川宗次 | 申請（專利權）人： | 株式會社三豐制作所 |
| 主分類號： | G01B11/04 | 分類號： | G01B11/04 |
| 代理公司： | 中國專利代理有限公司 | 代理人： | 林長安,許新根 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | 一種光學式位移檢測裝置，該裝置包括一個主標尺和一個指示標尺，主標尺上形成的第一光柵的間距調定為P，指示標尺上形成的第二光柵的間距調定為P/n，從而產生間距為P/n的分度檢測信號。第二光柵的間距調定為(u+v)P/u或(u+v)P/(2u)(u是漫射性光源與第一光柵之間的間隙距離，v是第一光柵與第二光柵之間的間隙距離)，從而可以無需使用準直透鏡。此外還用了第一光柵的較高次諧波分量，因而將第二光柵的間距調定在大致為(u+v)Q/u或(u+v)Q(2u)(Q＝P/m，m為等于或大于2的整數)從而避免將第二光柵的間距分成更小的分度。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 光學 位移 檢測 裝置 | ||
【主權項】：
1、一種光學式位移檢測裝置，其特征在于，該裝置包括：照明裝置，包括一個相干光源；主標尺，在其上形成以具有光柵間距為P的第一光柵；指示標尺，在其上形成以具有光柵間距q=P/n(n為等于或大于2的整數)；和光接收元件，用以對透過所述第一和第二光柵照射的照明光進行光電轉換；其中，隨著所述主標尺與所述指示標尺的相對位移，產生間距為P/n的檢測信號。
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