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[其他]一種光電陰極導電基底無效

專利信息
申請號: 87106900 申請日: 1987-10-10
公開(公告)號: CN1003897B 公開(公告)日: 1989-04-12
發明(設計)人: 牛憨笨 申請(專利權)人: 中國科學院西安光學精密機械研究所
主分類號: 分類號:
代理公司: 中國科學院西安專利中心 代理人: 顧伯勛;謝碧華
地址: 陜西省*** 國省代碼: 陜西;61
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 提出了一種新的光電陰極導電基底,此種導電基底是通過在光電陰極玻璃窗上真空鍍鉻1000厚,用鉻板進行光刻,通過腐蝕,在光電陰極玻璃窗上形成了任意走向的線寬為2~4μm的鉻網。這種光電陰極導電基底的面電阻率低于300μΩ/口,光透過率大于80%,并與任何半導體光電陰極相容。由于該導電網鉻走向是隨機的,光電器件的空間分辨率不受莫爾現象的影響。
搜索關鍵詞: 一種 光電 陰極 導電 基底
【主權項】:
1、一種超快速光電器件的半導體光電陰極導電基底,其特征在于在光電陰極玻璃窗上真空鍍鉻約1000厚,采用鉻板進行光刻,通過腐蝕,在光電陰極玻璃窗上形成任意走向的線寬為2~4μm的鉻網。
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