[其他]寬量程半導體真空計無效
| 申請號： | 87200798 | 申請日： | 1987-02-05 |
| 公開（公告）號： | CN87200798U | 公開（公告）日： | 1987-10-14 |
| 發明（設計）人： | 李自鵬;錢三德;王先路;陳立仁;黃錫森 | 申請（專利權）人： | 合肥工業大學 |
| 主分類號： | G01L21/10 | 分類號： | G01L21/10;G01L21/00 |
| 代理公司： | 機械工業部專利代理服務處 | 代理人： | 孫文彩 |
| 地址： | 安徽省合*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本實用新型公開了一種根據熱傳導原理和半導體PN結的感溫特性而設計的寬量程半導體真空計。它能夠實現粗、低、高真空的連續測量，解決了常規的真空測量中的銜接誤差問題，減少了測量設備，使用方便。由于在規管中設置了一個補償二極管，所以測量中不受環境溫度變化的影響，測量精度高。在10-10-1帕壓強范圍內，測量信號達300毫伏以上，從而大大簡化了測量線路。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 量程 半導體 真空計 | ||
【主權項】：
1、一種由半導體真空規管(G)和控制電路(L)構成的寬量程半導體真空計，其特征是：(1)、規管(G)中封裝有由PN結(2)電阻網絡(3)及歐姆結(4)構成的硅單晶芯片(1)和PN結補償二極管(7)；(2)、控制電路(L)由測量橋路(L1)、信號放大電路(L2)和信號補償電路(L3)組成，PN結補償二極管(7)為測量橋路(L1)的一只橋臂。
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