[其他]半導體快速熱處理系統的石英腔無效

申請號：	87202679	申請日：	1987-03-05
公開（公告）號：	CN87202679U	公開（公告）日：	1988-01-13
發明（設計）人：	錢佩信;侯東彥;陳必賢;馬騰閣;林惠旺;李志堅	申請（專利權）人：	清華大學
主分類號：	H01L21/324	分類號：	H01L21/324
代理公司：	清華大學專利事務所	代理人：	胡蘭芝,丁英烈
地址：	北京市海***	國省代碼：	北京;11
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摘要：	半導體快速熱處理系統的石英腔屬于集成電路和半導體器件制造技術的工藝設備。其要點是采用了雙層石墨板作紅外輻射源，并解決了雙層石墨板加熱半導體片測溫問題，雙層石墨板外加裝了涂有介質膜的紅外反射板，使半導體片的升溫速率加快，并使能耗降低了70％以上。
搜索關鍵詞：	半導體快速熱處理系統石英
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【主權項】：

1、一種半導體熱處理系統的石英腔，由矩形石英管、石英導軌、石英片架、石英托盤、石英桿和高頻線圈組成，其特征在于紅外輻射源是感應加熱的雙層石墨板，兩層石墨板之間有能使載有半導體片的石英片架順利地進出的距離，除石英片架進出口處外，雙層石墨板用涂有介質膜的紅外反射板包封后固定在矩形石英管內，在上層石墨板和紅外反射板上開測溫孔，此孔開在陪片上方。

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