[其他]薄膜厚度測量裝置無效
| 申請號： | 87207427 | 申請日： | 1987-07-07 |
| 公開（公告）號： | CN87207427U | 公開（公告）日： | 1988-04-20 |
| 發明（設計）人： | 李焯;楊進城;鐘茂聲;呂文選 | 申請（專利權）人： | 廈門大學 |
| 主分類號： | G01B15/02 | 分類號： | G01B15/02 |
| 代理公司： | 廈門大學專利事務所 | 代理人： | 馬應森 |
| 地址： | 福建省廈*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | 薄膜厚度測量裝置。本實用新型屬于微波測厚技術，是對微波腔體微擾法的改進，并應用于介質薄膜的厚度測量。它采用圓柱型TE。雙腔單模作為傳感器，被測薄膜位于沿縱向中央所開的橫向隙縫中，采取溫度自補償措施和線性好的場效應壓控振蕩器作為微波振蕩源，利用掃頻技術實現無接觸在線連續自動測量和質檢兼容。其測量分辨率和精度高，零漂小，耗散功率小，體積小。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 薄膜 厚度 測量 裝置 | ||
【主權項】：
1、微波高Q腔體微擾法測量薄膜厚度的裝置，它包括傳感器、微波源、檢測電路、脈沖形成電路、顯示電路和電源，其特征在于傳感器采用雙腔單模高QTE011模園柱型腔體，雙腔為工作腔5和參考腔6，工作腔沿縱向中央開橫向隙縫，工作腔5分為兩個半腔5A、5B，其中5A與參考腔直接連結，5B通過良導熱體連接塊18與參考腔連接。
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