[其他]在低溫中應(yīng)用含磷平面摻雜源無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 88103168 | 申請(qǐng)日： | 1988-05-28 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN88103168A | 公開（公告）日： | 1988-12-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 詹姆斯·埃里奇·拉普 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 歐文斯·伊利諾衣電視產(chǎn)品公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L21/22 | 分類號(hào)： | H01L21/22;C30B31/08;C04B35/00 |
| 代理公司： | 中國(guó)專利代理有限公司 | 代理人： | 楊麗琴,魏金璽 |
| 地址： | 美國(guó)俄*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 摻雜組合物包括(a)通過(guò)100目篩孔或更細(xì)的多晶陶瓷顆粒，其平均線性熱膨脹系數(shù)在0～300℃范圍內(nèi)不應(yīng)大于32×10-7/℃，該陶瓷由下列氧化物組成(按摩爾百分比)P2O5占45～75％，Al2O3占11～28％，Ta2O5占6.5～13％，SiO2占0～20％，La2O3占0～7％，其中，P2O5+Al2O3+Ta2O5占組成的摩爾百分比至少為75％；(b)Al2O3；以及(c)磷酸水溶液，它與Al2O3反應(yīng)形成陶瓷顆粒的膠粘劑。 | ||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 低溫 應(yīng)用 平面 摻雜 | ||
【主權(quán)項(xiàng)】：
1、用于制備摻雜源片的摻雜組合物，這種摻雜源片可通過(guò)P2O5的汽相輸運(yùn)，將磷摻加到硅片上，而且可在低溫中應(yīng)用，此摻雜組合物包括：a)細(xì)分散的多晶陶瓷顆粒，這種多晶陶瓷在0～300℃的平均線性熱膨脹系數(shù)小于32×10-7/℃，并主要由下述氧化物組成(摩爾百分比)：氧化物摩爾百分比P2O545～75Al2O511～28Ta2O56.5～13SiO20～20La2O30～7其中P2O5+Al2O3+Ta2O5至少占組成的75%(摩爾)，b)Al2O3，以及c)磷酸水溶液，它與Al2O3反應(yīng)形成陶瓷顆粒的膠粘劑。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
- 在線應(yīng)用平臺(tái)上應(yīng)用間通信的回調(diào)應(yīng)答方法、應(yīng)用及在線應(yīng)用平臺(tái)
- 應(yīng)用使用方法、應(yīng)用使用裝置及相應(yīng)的應(yīng)用終端
- 應(yīng)用管理設(shè)備、應(yīng)用管理系統(tǒng)、以及應(yīng)用管理方法
- 能力應(yīng)用系統(tǒng)及其能力應(yīng)用方法
- 應(yīng)用市場(chǎng)的應(yīng)用搜索方法、系統(tǒng)及應(yīng)用市場(chǎng)
- 使用應(yīng)用的方法和應(yīng)用平臺(tái)
- 應(yīng)用安裝方法和應(yīng)用安裝系統(tǒng)
- 使用遠(yuǎn)程應(yīng)用進(jìn)行應(yīng)用安裝
- 應(yīng)用檢測(cè)方法及應(yīng)用檢測(cè)裝置
- 應(yīng)用調(diào)用方法、應(yīng)用發(fā)布方法及應(yīng)用發(fā)布系統(tǒng)
