[其他]新型水平滑動石墨舟無效
| 申請號： | 88201086 | 申請日： | 1988-02-05 |
| 公開（公告）號： | CN88201086U | 公開（公告）日： | 1988-08-24 |
| 發明（設計）人： | 孫成城;薛保興;何淑芳 | 申請（專利權）人： | 清華大學 |
| 主分類號： | H01L21/208 | 分類號： | H01L21/208;C30B19/00;C30B35/00 |
| 代理公司： | 清華大學專利事務所 | 代理人： | 廖元秋,胡蘭芝 |
| 地址： | 北京市海*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一種新型水平滑動石墨舟，屬于半導體光電子學領域的半導體工藝設備的改進，其特點在于溶液池為圓形且尺寸需計算得出，目的在于當所需溶劑放入池內熔化后溶液外邊界與池的內邊界密合，以保證其后加入的熔質和摻雜物完全被溶液所包熔。實驗表明，這種舟生長出的外延片表面光亮、結線平整、晶格匹配，從而大大提高了光電器件的成品率。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 新型 水平 滑動 石墨 | ||
【主權項】：
1、一種用于液相外延的水平滑動石墨舟，由舟體[4]、襯底托板[5]、滑動溶液池板[6]及溶池蓋[7]所組成，其特征在于滑動溶液池板上有多個溶液池[8]，其水平截面的內邊界是園形，園形直徑d由公式m=(πd＇3)/6D求d′，使d=d′，式中m為溶液池溶劑的質量，D為溶劑的比重，d′為熔劑呈球狀時的直徑。
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- 專利分類
H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
