[發明專利]一種耐腐蝕透射像傳感器有效
| 申請號： | 201711093450.X | 申請日： | 2017-11-08 |
| 公開（公告）號： | CN107621758B | 公開（公告）日： | 2020-04-24 |
| 發明（設計）人： | 顧佳靈;莫少文 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人： | 俞滌炯 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 腐蝕 透射 傳感器 | ||
1.一種耐腐蝕的透射像傳感器，其特征在于，設置在浸沒式光刻機的工作臺上，所述透射像傳感器的表面設置有一第一隔離涂層，所述第一隔離涂層連接一負電壓；
所述浸沒式光刻機鏡頭的罩子與水介質接觸，所述第一隔離涂層與所述水介質接觸。
2.根據權利要求1所述的耐腐蝕的透射像傳感器，其特征在于，所述負電壓為一直流電。
3.根據權利要求1所述的耐腐蝕的透射像傳感器，其特征在于，所述負電壓的電壓值為-1000mV。
4.根據權利要求1所述的耐腐蝕的透射像傳感器，其特征在于，所述第一隔離涂層為金屬隔離涂層。
5.根據權利要求4所述的耐腐蝕的透射像傳感器，其特征在于，所述第一隔離涂層上覆蓋有一第二隔離涂層，所述第二隔離涂層采用石墨烯薄膜涂層。
6.一種具有耐腐蝕透射像傳感器的浸沒式光刻機，其特征在于，所述浸沒式光刻機的工作臺上設置有至少一個透射像傳感器，所述透射像傳感器的表面上設置有一第一隔離涂層，所述第一隔離涂層連接一負電壓；
所述浸沒式光刻機鏡頭的罩子與水介質接觸，所述第一隔離涂層與所述水介質接觸。
7.根據權利要求6所述的具有耐腐蝕透射像傳感器的浸沒式光刻機，其特征在于，所述負電壓為一直流電。
8.根據權利要求6所述的具有耐腐蝕透射像傳感器的浸沒式光刻機，其特征在于，所述負電壓的電壓值為-1000mV。
9.根據權利要求6所述的具有耐腐蝕透射像傳感器的浸沒式光刻機，其特征在于，所述第一隔離涂層為金屬隔離涂層。
10.根據權利要求6所述的具有耐腐蝕透射像傳感器的浸沒式光刻機，其特征在于，所述第一隔離涂層上覆蓋有第二隔離涂層，所述第二隔離涂層采用石墨烯薄膜涂層。
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