[其他]采用氮保護氣氛制造直拉(切氏法)硅單晶的方法在審
| 申請號: | 101985000000295 | 申請日: | 1985-04-01 |
| 公開(公告)號: | CN85100295B | 公開(公告)日: | 1986-02-10 |
| 發明(設計)人: | 闕端麟;李立本;林玉瓶 | 申請(專利權)人: | 浙江大學 |
| 主分類號: | 分類號: | ||
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 浙江省杭*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 采用 保護 氣氛 制造 切氏法 硅單晶 方法 | ||
【權利要求書】:
1、一種帶有減壓充氣保護的直拉(切氏法)硅單晶的制造方法,其特征是采用純氮作為拉制硅單晶的保護氣氛。
2、按照權利要求1所述直拉硅單晶的制造方法,其特征在于所用的氮氣純度為99.999%以上,爐內氮氣壓力為0.5~60托,氮氣流量為2~50升/分。
3、按照權利要求2所述的方法,其特征在于它的最佳技術參數是爐內氮氣壓力為10~30托,氮氣流量為10~30升/分。
下載完整專利技術內容需要扣除積分,VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于浙江大學,未經浙江大學許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://m.szxzyx.cn/pat/books/101985000000295/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇:燃油鍋爐改燒煤漿煤粉清除爐底沉降灰方法
- 下一篇:角鋼浮動塔板
- 同類專利
- 專利分類





