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[其他]導電復合陶瓷蒸發舟的制造工藝在審

專利信息
申請號: 101986000006491 申請日: 1986-09-23
公開(公告)號: CN86106491B 公開(公告)日: 1988-04-20
發明(設計)人: 李敏超 申請(專利權)人: 青州鋁箔紙廠
主分類號: 分類號:
代理公司: 山東省專利服務處 代理人: 莊益利
地址: 山東省青*** 國省代碼: 山東;37
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 導電 復合 陶瓷 蒸發 制造 工藝
【權利要求書】:

1、一種導電復合陶瓷蒸發舟的制造工藝,其特征在于該工藝包括:

(1)由BN,B4C,Ti,TiH4,Al等原料組成;

(2)它們的重量組成比為BN:36-44%,B4C:13-20%,Ti:25-33%,TiH4:2-6%,Al:8-15%;

(3)合成反應時的熱壓溫度為1800℃;

(4)合成反應是一步完成的;

(5)采用磨槽工藝和金剛石砂輪加工。

2、根據權利要求1所述的導電復合陶瓷蒸發舟的制造工藝,其特征在于其重量組成比為BN:43%,B4C:15%,Ti:29%,TiH4:2%,Al:11%較佳。

3、一種導電復合陶瓷蒸發舟的制造工藝,其特征在于該蒸發舟是專用于真空鍍膜。

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