[其他]電子器件及其制造方法

在審

• 申請號: 101987000006448
• 申請日: 1987-09-21
• 公開（公告）號: CN1005946B
• 公開（公告）日: 1989-11-29
• 發明（設計）人: 間瀨晃;小沼利光;坂間光范;犬島喬;山崎舜平
• 申請（專利權）人: 株式會社半導體能源研究所
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利代理部
• 代理人: 劉暉

在透光的絕緣襯底上形成一層制有圖形的不透光的導電層或半導體層部分，再用一個絕緣層圍住上述層部分，使絕緣層的厚度與導電層或半導體層部分的厚度相同，但不要使絕緣層覆蓋住上述層部分。形成絕緣層的方法如下：在有導電層或半導體層部分的整個襯底上形成一層光敏有機樹脂。在此例中，使有機樹脂漫延到層部分上面。然后，從襯底那一側對有機樹脂層曝光，并進行顯影和熱處理等工藝，最后形成上述絕緣層。

本發明涉及一種電子器件，該器件具有帶絕緣表面的一個襯底和一個層部分，這個層部分包括在該襯底上制有圖形的地方形成的導電層或者半導體層。本發明還涉及這種電子器件的制造方法。

迄至今日，人們曾經提出過各種各樣的電子器件，器件中有帶絕緣表面的一個襯底和一個層部分，這個層部分包括在襯底上制有圖形的地方形成的導電層或半導體層。

所形成的層部分，例如，可以是一個作為互相連接的導電層部分。另一種情況是當導電的或半導電材料形成的層部分用做電阻層時，這些層部分是用所希望的具有一定電阻率的導電的或半導電層的材料形成的。再一種情況是這個層部分由重疊層部分構成，在這個結構中，有一個第一導電層用做第一電極，是具有一個PN結或一個PIN結的非單晶半導體層部分，還有第二導電層用做第二電極，疊加在第一電極上，疊加的次序是要使該器件形成一種非線性元件，在正的和負的電壓區上其電壓-電流特性是二極管特性。還有另一種情況是層部分用疊層部分構成，其結構是第一導電層做為第一電極，是具有一個NIN，NP^-N，PIP，PN^-P，NIPIN，NP^-PP^-N，PINIP或PN^-NN^-P結的非單晶半導體層，和第二導電層做為第二電極重疊在第一導電層上，其順序是使其成為非線性元件，在正向和負向電壓區上，其電壓電流特性為二極管特性。

另一種情況是上述層部分由疊層部分形成，其結構是第一導電層做為第一電極，是I^-，P^-或N^-型非單晶半導體層，和第二導電層做為第二電極，其重疊的次序是使其如同一個非線性元件，具有非線性的電壓電流特性。還有另一種情況是上述層部分由疊層部分形成，其結構是第一導電層做為第一電極;一個絕緣層做為勢壘層，該絕緣〈＆＆〉足以使遂道電流穿過它;一個第二導電層做為第二電極;這些層〈＆＆〉次序是使其形成一個非線性元件，具有非線性電壓-電流特性。

在上述電子器件中，如果沿著重疊部分厚度方向上伸延的外表面露在外界空氣里，就擔心外側表面的質量由于外界空氣的作用會發生變化，結果會破壞重疊部分的特性。從而，灰塵也會污染露出的外側面，導致產生漏電電流。因此使電子器件的特性由于空氣的影響而變壞。

為此，本發明的一個目的是提供一種新型的電子器件，該器件有襯底和在襯底上的一個層部分，該層部分包括在制有圖形的地方形成的導電層或半導體層。具有這種結構的電子器件克服了先有技術中的上述缺點。

本發明的另一個目的是提供制造這種電子器件的方法。

按照本發明的電子器件，是用一個絕緣層覆蓋住層部分，該絕緣層與層部分的外側表面接觸，但并不漫延到層部分的頂部表面。

具有這種結構的電子器件，由于其外側表面并沒有露在戶外空氣中，其質量不會變化，也不會受到灰塵的污染。因此，不可能使層部分的特性變壞，也不可能在其外側表面發生漏電流。從而，電子器件的特性不會因為戶外空氣的影響而變壞。

為此，當絕緣層的厚度基本上與層部分的厚度相同時，用做互連層或用做電極的導電層可以漫延到整個層部分上，并與之接觸，在絕緣層和層部分之間沒有任何可能使導電層變得不連續，并很容易地在絕緣層上形成導電層。

按照本發明的制造方法，本發明的電子器件是用包括下列各步驟的制造工藝制成的。

首先，在具有絕緣表面的襯底上形成一層制有圖形的導電層或半導體層的層部分。在這種情況下，使用的是透光基片做襯底。因此，所形成的層部分，其透光度大大低于襯底的透光度。

其次，在透光襯底上形成一層光敏有機樹脂，使其漫延在襯底上并覆蓋住層部分。