[發(fā)明專利]加工裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010146502.0
• 申請(qǐng)日: 2020-03-05
• 公開（公告）號(hào): CN111725093A
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 川越大輔;萬(wàn)波秀年;戎圣吾
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/677;H01L21/78
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 喬婉;于靖帥

1.一種加工裝置，其至少具有如下的構(gòu)成要素：

卡盤工作臺(tái)，其能夠選擇性地保持至少兩種尺寸的被加工物；

加工單元，其對(duì)該卡盤工作臺(tái)所保持的被加工物實(shí)施加工；

盒載置部，其載置對(duì)多個(gè)被加工物進(jìn)行收納的盒；

搬出單元，其將被加工物從載置于該盒載置部的盒中搬出；

暫放單元，其暫放被該搬出單元搬出的被加工物；以及

搬送單元，其將暫放于該暫放單元的被加工物搬送至該卡盤工作臺(tái)，

其中，

該加工裝置具有：

相機(jī)，其對(duì)構(gòu)成要素進(jìn)行拍攝；以及

控制單元，其至少具有：尺寸選定部，其選定被加工物的尺寸；以及圖像存儲(chǔ)部，其對(duì)與該尺寸選定部所選定的被加工物的尺寸相對(duì)應(yīng)的構(gòu)成要素的圖像進(jìn)行存儲(chǔ)，

該控制單元具有判斷部，該判斷部對(duì)該相機(jī)所拍攝的構(gòu)成要素的圖像和存儲(chǔ)于該圖像存儲(chǔ)部的構(gòu)成要素的圖像進(jìn)行比較，判斷該相機(jī)所拍攝的構(gòu)成要素是否是與該尺寸選定部所選定的被加工物的尺寸相對(duì)應(yīng)的構(gòu)成要素。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工裝置，其中，

該判斷部指出不與被加工物的尺寸相對(duì)應(yīng)的構(gòu)成要素并指示更換。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工裝置，其中，

該加工單元是利用磨削磨具對(duì)該卡盤工作臺(tái)所保持的被加工物進(jìn)行磨削的磨削單元或利用研磨墊對(duì)該卡盤工作臺(tái)所保持的被加工物進(jìn)行研磨的研磨單元。