[發(fā)明專利]加工裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010146502.0
• 申請(qǐng)日: 2020-03-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111725093A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 川越大輔;萬(wàn)波秀年;戎圣吾
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/677;H01L21/78
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 喬婉;于靖帥

提供加工裝置。其具有：卡盤(pán)工作臺(tái)(4)，其選擇性地保持至少兩種尺寸的被加工物；加工單元(6)，其對(duì)被加工物實(shí)施加工；盒載置部(10)，其載置收納被加工物的盒(8)；搬出單元(12)，其將被加工物從盒中搬出；暫放單元(14)，其暫放被加工物；以及搬送單元(16)，其將被加工物搬送至卡盤(pán)工作臺(tái)。加工裝置具有對(duì)構(gòu)成要素進(jìn)行拍攝的相機(jī)(88)以及控制單元(90)。控制單元具有：尺寸選定部(96)，其選定被加工物的尺寸；圖像存儲(chǔ)部(98)，其存儲(chǔ)與所選定的被加工物的尺寸相對(duì)應(yīng)的構(gòu)成要素的圖像；以及判斷部(100)，其對(duì)相機(jī)所拍攝的構(gòu)成要素的圖像和存儲(chǔ)于圖像存儲(chǔ)部的構(gòu)成要素的圖像進(jìn)行比較，判斷相機(jī)所拍攝的構(gòu)成要素是否是與尺寸選定部所選定的被加工物的尺寸相對(duì)應(yīng)的構(gòu)成要素。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及能夠?qū)χ辽賰煞N尺寸的被加工物進(jìn)行加工的加工裝置。

背景技術(shù)

晶片由分割預(yù)定線劃分而在正面上形成有IC、LSI等多個(gè)器件，該晶片在通過(guò)磨削裝置對(duì)背面進(jìn)行磨削而形成為規(guī)定的厚度之后，通過(guò)切割裝置、激光加工裝置等而分割成各個(gè)器件芯片，分割得到的各器件芯片被用于移動(dòng)電話、個(gè)人計(jì)算機(jī)等電子設(shè)備。

磨削裝置大致包含：卡盤(pán)工作臺(tái)，其對(duì)被加工物進(jìn)行保持；磨削單元，其對(duì)卡盤(pán)工作臺(tái)所保持的被加工物進(jìn)行磨削；盒載置部，其載置對(duì)多個(gè)被加工物進(jìn)行收納的盒；搬出單元，其將被加工物從載置于盒載置部的盒中搬出；暫放單元，其暫放通過(guò)搬出單元搬出的被加工物；以及搬送單元，其將暫放于暫放單元的被加工物搬送至卡盤(pán)工作臺(tái)，該磨削裝置能夠?qū)⒕庸こ善谕暮穸取?/p>

另外，晶片存在直徑為5英寸、6英寸、8英寸的不同的尺寸，根據(jù)器件的種類、大小等而適當(dāng)選擇尺寸。

并且，磨削裝置構(gòu)成為根據(jù)晶片的尺寸而更換卡盤(pán)工作臺(tái)、搬出單元、搬送單元等構(gòu)成要素從而能夠與晶片的各尺寸對(duì)應(yīng)(例如參照專利文獻(xiàn)1)。

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2005-153090號(hào)公報(bào)

但是，有時(shí)由于錯(cuò)誤而未能使要更換的所有構(gòu)成要素與晶片的尺寸相對(duì)應(yīng)地進(jìn)行更換，在這樣的情況下，產(chǎn)生如下的問(wèn)題：無(wú)法從盒中搬出晶片或無(wú)法進(jìn)行磨削裝置內(nèi)的晶片的搬送、或者使晶片破損。上述問(wèn)題不限于磨削裝置，在包含能夠與晶片的尺寸相對(duì)應(yīng)地更換構(gòu)成要素的切割裝置、激光加工裝置等的各種加工裝置中均會(huì)發(fā)生。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于上述事實(shí)而完成的本發(fā)明的課題在于提供加工裝置，其不會(huì)產(chǎn)生無(wú)法從盒中搬出被加工物或無(wú)法進(jìn)行加工裝置內(nèi)的被加工物的搬送或者使被加工物破損的問(wèn)題。

為了解決上述課題，本發(fā)明所提供的是以下的加工裝置。即，該加工裝置至少具有如下的構(gòu)成要素：卡盤(pán)工作臺(tái)，其能夠選擇性地保持至少兩種尺寸的被加工物；加工單元，其對(duì)該卡盤(pán)工作臺(tái)所保持的被加工物實(shí)施加工；盒載置部，其載置對(duì)多個(gè)被加工物進(jìn)行收納的盒；搬出單元，其將被加工物從載置于該盒載置部的盒中搬出；暫放單元，其暫放被該搬出單元搬出的被加工物；以及搬送單元，其將暫放于該暫放單元的被加工物搬送至該卡盤(pán)工作臺(tái)，其中，該加工裝置具有：相機(jī)，其對(duì)構(gòu)成要素進(jìn)行拍攝；以及控制單元，其至少具有：尺寸選定部，其選定被加工物的尺寸；以及圖像存儲(chǔ)部，其對(duì)與該尺寸選定部所選定的被加工物的尺寸相對(duì)應(yīng)的構(gòu)成要素的圖像進(jìn)行存儲(chǔ)，該控制單元具有判斷部，該判斷部對(duì)該相機(jī)所拍攝的構(gòu)成要素的圖像和存儲(chǔ)于該圖像存儲(chǔ)部的構(gòu)成要素的圖像進(jìn)行比較，判斷該相機(jī)所拍攝的構(gòu)成要素是否是與該尺寸選定部所選定的被加工物的尺寸相對(duì)應(yīng)的構(gòu)成要素。

優(yōu)選該判斷部指出不與被加工物的尺寸相對(duì)應(yīng)的構(gòu)成要素并指示更換。優(yōu)選該加工單元是利用磨削磨具對(duì)該卡盤(pán)工作臺(tái)所保持的被加工物進(jìn)行磨削的磨削單元或利用研磨墊對(duì)該卡盤(pán)工作臺(tái)所保持的被加工物進(jìn)行研磨的研磨單元。