[其他]在一塊半導體晶片上涂蓋一層感光材料的方法及裝置無效
| 申請號： | 85108189 | 申請日： | 1985-11-10 |
| 公開（公告）號： | CN1003751B | 公開（公告）日： | 1989-03-29 |
| 發明（設計）人： | 赫爾曼·厄恩斯特·杜恩維爾德 | 申請（專利權）人： | 菲利浦光燈制造公司 |
| 主分類號： | 分類號： | ||
| 代理公司： | 中國專利代理有限公司 | 代理人： | 曹永來;李曉舒 |
| 地址： | 荷蘭艾恩德*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一塊 半導體 晶片 上涂蓋 一層 感光材料 方法 裝置 | ||
【權利要求書】：
1、一種在半導體材料的晶片上涂敷一層感光材料的方法，其中液體狀感光材料被涂敷在晶片上，然后晶片旋轉以獲得所要求的該層的厚度，存在于晶片邊緣的感光材料由一被引向這邊緣的液體噴流將感光材料溶解，其特征在于該用來將感光材料溶解的液體噴流首先被引向半導體材料的晶片以外的地方，然后該液體噴流才被引向晶片的邊緣，接著該液體噴流再次被引向晶片以外的地方。
2、一種用來實現權利要求1所述的方法的裝置，包括一可旋轉的臺面，將半導體材料的晶片固定在該臺面的裝置及一個供應適于溶解感光材料的液體的裝置，該供應裝置有一個附有出口噴嘴的管狀部分供應溶解感光材料的液體，而該附有出口噴嘴的管狀部分被布置成可以相對于可旋轉的臺面作橫向移動，其特征在于附有出口噴嘴的管狀部分是可擺動地安裝的并且有移動裝置去擺動管狀部分，將它從液體噴流朝向半導體晶片邊緣以外的位置擺動到液體噴流朝向邊緣的位置，然后再一次朝向邊緣以外。
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