[其他]在一塊半導(dǎo)體晶片上涂蓋一層感光材料的方法及裝置

無效

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• 申請日: 1985-11-10
• 公開（公告）號: CN1003751B
• 公開（公告）日: 1989-03-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 赫爾曼·厄恩斯特·杜恩維爾德
• 申請（專利權(quán)）人: 菲利浦光燈制造公司
• 代理公司: 中國專利代理有限公司
• 代理人: 曹永來;李曉舒

在一個將一層感光材料涂敷在半導(dǎo)體材料晶片３的方法中，液體狀的感光材料被涂敷在晶片上然后旋轉(zhuǎn)晶片令感光層達(dá)到所需的厚度。存在于晶片３邊緣６的感光材料７由一被引向這個邊緣的液體噴流將感光材料溶解，該噴流首先被引向半導(dǎo)體材料的晶片以外的地方，然后該液體噴流被引向晶片的邊緣，最后，該液體噴流會再次被引向晶片以外的地方并將該液體的供應(yīng)關(guān)上。

本發(fā)明涉及在一塊半導(dǎo)體晶片上涂上一層感光材料的方法，其中，在晶片上加上液體狀的感光材料后，晶片會被旋轉(zhuǎn)從而獲得一層所需厚度的感光層，位于晶片邊緣的感光材料是由一個向著這個邊緣溶解感光材料的液體的噴流所除去。本發(fā)明更涉及使用這種方法的裝置及利用這個方法獲得的半導(dǎo)體晶片。

一般情況下，在制造微電子線路時會將感光（光敏抗蝕劑）層涂在半導(dǎo)體晶片上，并用特別為這用途設(shè)計(jì)的機(jī)械進(jìn)行，該等機(jī)械包括一個速度可變的水平布置可轉(zhuǎn)動的臺面。該半導(dǎo)體晶片便放在這臺面上并用例如真空的方法將之固定。定量的液體感光材料會加在半導(dǎo)體晶片上。將臺面轉(zhuǎn)動，感光層便受一離心力，并在一預(yù)定的速度旋轉(zhuǎn)，使感光層達(dá)到所需的最后厚度。

可是，在這過程中，一個不希望有的效果在半導(dǎo)體晶片的邊緣發(fā)生;在晶片邊緣的垂直部分亦被感光材料所蓋。這些掛在邊緣的感光材料容易斷開（它是非常易碎的），因而引致運(yùn)輸裝置及進(jìn)一步對半導(dǎo)體晶片進(jìn)行處理的裝置均受到不希望有的污染，在那里是須要極高的潔凈度來獲得良好的產(chǎn)品。

為了防止這個不良的影響，該掛附的感光材料會由一適當(dāng)?shù)囊后w有機(jī)溶劑所除去，例如丙酮。一溶劑的噴流會被導(dǎo)向正在旋轉(zhuǎn)的半導(dǎo)體晶片的邊緣。由于飛濺的關(guān)系，半導(dǎo)體晶片的有效表面的一部分經(jīng)常會被溶劑所觸及，而這會對產(chǎn)品有不利的影響。

本發(fā)明的目的是提供一種將在半導(dǎo)體晶片邊緣凸出的感光材料有效地除去而又對產(chǎn)品沒有不利的影響的方法。為了達(dá)到這個目的，根據(jù)本發(fā)明的方法的特征在于溶解感光材料的液體噴流首先被引向半導(dǎo)體材料的晶片以外的地方，然后液體噴流被引向晶片邊緣，接著液體噴流會再被引向晶片以外的地方。

利用根據(jù)本發(fā)明的方法，驚奇地發(fā)現(xiàn)那些不希望有的溶劑飛濺在感光層上的情況不再出現(xiàn)。因此，適用的半導(dǎo)體元件的產(chǎn)量便大大增加。根據(jù)本發(fā)明的方法取得令人滿意的效果大概是因?yàn)樗苊饬嗽趩雍笕軇┝⒓粗赶虬雽?dǎo)體晶片上，從而令飛濺效應(yīng)不會發(fā)生并使產(chǎn)量明顯地增加。

本發(fā)明進(jìn)一步涉及實(shí)行根據(jù)本發(fā)明的方法的裝置。這類裝置包括一個可旋轉(zhuǎn)的臺面，還包括用以將半導(dǎo)體晶片固定在臺面上的裝置;及有供應(yīng)適于溶解感光材料的液體的裝置，其特征在于該供應(yīng)裝置有一管狀部分，設(shè)有給溶解感光材料的液體的出口噴嘴，其特征還在于連帶著出口噴嘴的管狀部分被布置成可以相對于可旋轉(zhuǎn)的臺面藉一個裝置作橫向移動，這裝置這樣來操作使從出口噴嘴發(fā)射的液體噴流被引向半導(dǎo)體晶片的邊緣以外，然后引向該邊緣，接著又引向該邊緣以外。

根據(jù)本發(fā)明的裝置的一個推薦的實(shí)施例中，設(shè)有出口噴嘴的管狀部分是可擺動地安裝的，并有移動裝置將管狀部分從一個液體噴流朝向半導(dǎo)體晶片邊緣以外的位置擺動到液體噴流朝向該邊緣的位置，然后再一次朝向邊緣以外。

本發(fā)明將會參考附圖所示的實(shí)施例更詳盡地被描述。附圖中：

圖1非常概略地顯示一部將感光材料涂敷在一塊半導(dǎo)體晶片及將掛在邊緣的材料除去的裝置，

圖2顯示同一裝置，而溶劑供應(yīng)裝置在另一個不同的位置，

圖3顯示一塊半導(dǎo)體晶片的一部分并附有掛在邊緣的感光材料。

圖1及圖2非常概略地顯示一部在半導(dǎo)體晶片上涂敷一層感光材料（光敏抗蝕劑）的裝置。該裝置包括一個可繞心軸2旋轉(zhuǎn)的臺面1，而它的驅(qū)動器則沒有顯示。一塊半導(dǎo)體材料的晶片3放在臺面1上。晶片以一本身已知的形式，例如用真空方法固定在臺面1上。

定量的液體感光材料通過管道4加在半導(dǎo)體晶片3上，繞著心軸2旋轉(zhuǎn)，離心力便作用在感光材料上;該最后獲得的感光材料層厚度是由心軸2亦即是晶片3的旋轉(zhuǎn)速度所決定。