[其他]配制液態摻雜劑稀溶液的氣體載運方法及其裝置無效

申請號：	86104706	申請日：	1986-07-10
公開（公告）號：	CN86104706A	公開（公告）日：	1988-01-27
發明（設計）人：	楊韌	申請（專利權）人：	楊韌
主分類號：	H01L21/223	分類號：	H01L21/223;H01L21/205;C30B31/00
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	北京市6***	國省代碼：	北京;11
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摘要：
搜索關鍵詞：	配制液態摻雜溶液氣體載運方法及其裝置
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【權利要求書】：

1、配制液態摻雜劑的稀溶液，把極少量高純摻雜劑加入到少量超純基質液中，本方法的特征是通過載氣攜運完成。

2、根據權利要求1所述方法的配液操作，其特征是它包括載氣沖洗管道、純化摻雜劑、沖凈管道中的摻雜劑、氣體載運、全溶與混勻等五步組成的固定程序。

3、使用如權利要求1所述方法的裝置，為載氣順經質量流計（1），四通活塞（7）連結的恒溫冒泡瓶（2），四通活塞（8）連結的恒溫冒泡瓶（3），三通活塞（9）連結的吸收瓶（11），最后放空。其特征為：先通過的冒泡瓶（2）為摻雜劑冒泡瓶，后者（3）為基質液冒泡瓶;瓶（2）可帶或不帶有螺旋葉，瓶（3）帶有螺旋葉。

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