[其他]硫化鉛多晶薄膜的激光敏化方法

無效

• 申請號: 87102141
• 申請日: 1987-03-21
• 公開（公告）號: CN87102141A
• 公開（公告）日: 1988-10-12
• 發明（設計）人: 孫維國;胡榮武
• 申請（專利權）人: 航空工業部第014中心
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01G9/20;G01J5/10
• 代理公司: 航天工業部專利事務所
• 代理人: 馬國祥,王淑慈

本發明是關于PbS紅外光敏元件制造中敏化工藝的發明，敏化是制造PbS探測器關鍵的一環，敏化效果如何直接影響探測率大小。

據我們所知國內外，以往對PbS薄膜的敏化采用化學敏化法、爐中高溫處理法，高溫法做的器件與化學敏化法比較，穩定性好，響應時間常數小，但高溫處理敏化條件較難掌握，重復性差，成品率不高，所用時間較長，即升溫至550℃左右（需要一小時左右）然后恒溫一小時再自然冷卻至室溫取出，每次敏化放片不多，且在敏化過程中敏化情況不能直接觀察。

本發明的目的是提供一種PbS光敏元件制造中敏化新方法。

本發明采用激光器代替敏化爐，把化學沉淀在玻璃襯底上的薄膜用激光擴束照射（掃描）待敏元件而到達敏化效果。在大氣環境中待敏元件吸收了激光后，由于光化學和熱效應作用使表面生成對紅外輻射敏感物質，從而達到敏化效果。敏化效果與功率密度有關。功率密度太大，薄膜表面揮發，功率密度太小，達不到敏化效果。其最佳功率密度范圍是100瓦/厘米²～300瓦/厘米²。激光器的波長對薄膜的吸收是有影響的，因CO₂氣體激光器轉換效率高，價格較低，所以采用CO₂氣體激光器較好。在敏化過程中通過觀察元件的顏色變化來判斷敏化情況，確定激光照射的時間。在照射過程中從本色灰白變黑然后暗紅→褐色→深蘭→淺蘭→蘭灰→灰色。初步判斷時可選擇淺蘭→灰色之間為較好敏化效果范圍。對敏化后的光敏元件進行退火處理可以提高其性能和穩定性，退火的溫度范圍在135±10℃時更有利于提高其性能和穩定性。

本發明的優點是成品率比高溫爐處理方法高，敏化條件調節迅速，敏化速度快，1分鐘左右即可敏化一化。在我們的試驗中用激光法比用高溫爐中處理成品率高一倍以上。本發明的方法也可適用于PbSe敏化。

本發明與高溫爐處理方法相比制成的光敏元件各參數性能基本相同，優于高溫法，且成本低，穩定性好。用此方法做的紅外探測器可在致冷情況下或室溫工作，可用于軍事跟蹤，探測，特別在導彈上使用，也可以用于火焰探測，測溫，測濕。