[其他]盤形渦輪分子泵

無效

• 申請號: 87103982
• 申請日: 1987-06-03
• 公開（公告）號: CN87103982A
• 公開（公告）日: 1988-12-21
• 發明（設計）人: 朱岳;王孝珍;竺長新
• 申請（專利權）人: 中國科學院北京真空物理實驗室
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04
• 代理公司: 中國科學院專利事務所
• 代理人: 關玲,方國成

1、一種泵芯結構具有高真空端是渦輪部分，低真空端是盤形部分按串聯方式構成的盤形渦輪復合分子泵，其特征在于泵芯的渦輪部分和盤形部分之間串接有盤形渦輪結構作為過渡部分結構。

2、權利要求1所述的復合分子泵，其特征在于過渡部分是盤形渦輪分子泵泵芯結構，即每一級由裝在轉子上的一片帶有渦輪葉齒的動圓盤和一片在盤面上開有若干個沿圓周均勻分布呈放射狀的圓弧線形或對數線形或直線形抽氣溝槽的定圓盤組成。

3、權利要求1所述的復合分子泵，其特征在于盤形部分的每一級是由一片裝在電機轉子上的旋轉平板圓盤面上開有若干個沿圓周均勻分布呈放射狀的圓弧線形或對數線形或直線形抽氣溝槽的定圓盤組成。

4、權利要求2所述的復合分子泵，其特征在于盤形渦輪過渡部分可以是單級或多級構成。

5、權利要求3所述的復合分子泵，其特征在于盤形部分可以是單級或多級構成。

6、權利要求1或2所述的復合分子泵，其特征在于定圓盤盤面上所開的抽氣溝槽的線形可以是沿圓周均勻分布呈放射狀的圓弧線形或對數線形或直線形抽氣溝槽。

7、權利要求1、2或3所述的復合分子泵，其特征在于定圓盤盤面上所開的抽氣溝槽的線形可以是沿圓周均勻分布呈放射狀的圓弧線形或對數線形或直線形抽氣溝槽。

8、權利要求2或3所述的復合分子泵，其特征在于多級串聯時定圓盤的兩側盤面上都開有若干個沿圓周均勻分布呈放射狀的圓弧線形或對數線形或直線形抽氣溝槽。

9、權利要求8所述的復合分子泵，其特征在于定圓盤兩側盤面上所開的抽氣溝槽的線形走相反。

10、權利要求8所述的復合分子泵，其特征在于同一定圓盤的兩個側面上或不同定圓盤的兩個盤面上所開的抽氣溝槽的數目可以不同。

11、權利要求8、9或10所述的復合分子泵，其特征在于定圓盤兩側盤面上開的抽氣溝槽的長度可以不同。

12、權利要求8或10所述的復合分子泵，其特征在于同一定圓盤的兩個側面上或不同定圓盤的盤面上所開的抽氣溝槽的槽深可以不同。