[其他]盤形渦輪分子泵

無效

• 申請號: 87103982
• 申請日: 1987-06-03
• 公開（公告）號: CN87103982A
• 公開（公告）日: 1988-12-21
• 發明（設計）人: 朱岳;王孝珍;竺長新
• 申請（專利權）人: 中國科學院北京真空物理實驗室
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04
• 代理公司: 中國科學院專利事務所
• 代理人: 關玲,方國成

本發明涉及一種改進的盤形分子泵。

現有盤形分子泵主要是由一驅動電機帶動泵體內一高速旋轉的平板圓盤和一帶有特定線形抽氣溝槽的定圓盤構成的單級或多級盤形分子泵。例如1943年塞格巴恩（Sagbahn）教授設計出的第一臺盤形分子泵，其定圓盤盤面上所開的抽氣溝槽線形或稱抽氣溝槽的槽壁線形是阿基米德螺旋線。這種泵雖然可以在較高的入口壓強下工作，如10^-2-1.0毫巴的入口壓強，但由于結構上的限制，該泵的抽速很小，使用范圍不廣。

近年來由于電子工業和等離子體技術的迅猛發展，迫切需要一種在入口壓強為10^-2-1.0毫巴壓強下工作時，同時具有較大抽速和較高壓縮比的真空泵。而現有的渦輪分子泵和擴散泵都不具有這種特性。

為了解決這個問題，人們對盤形分子泵作了不斷改進，以期在保持上述盤形分子泵的優點外進一步提高抽速和壓縮比。

中國發明專利說明書GK85105304公開了一種定圓盤上的抽氣溝槽是對數線形槽的盤形分子泵，雖然這泵具有上述盤形分子泵的優點，但由于僅是簡單的改進了定圓盤盤面上抽氣溝槽線形，對機械加工定圓盤有所改善，而對提高抽速作用不大。

本發明的任務是，提出一種改進的盤形分子泵，它不僅在入口壓強為10^-2-1.0毫巴的壓強下工作時具有較大的抽速和較高的壓縮比，而且具有機械加工方便，實用性強的特點

本發明所設計的盤形渦輪分子泵，其基本結構是，驅動電機主軸帶動泵芯內轉子上的旋轉圓盤，其旋轉圓盤上沿圓周均勻分布有渦輪葉齒，其定圓盤內圓周與轉子有一定間隙，在泵體內固定在泵體上。定圓盤盤面上開有若干個沿圓周均勻分布的抽氣溝槽，且此抽氣溝槽是呈放射狀圓弧線形的槽或直線形的槽。

本發明的泵，其旋轉圓盤上的渦輪葉齒可以是普通渦輪葉齒，也可以把葉齒開在旋轉圓盤的邊緣處，其葉齒長度可以相同，也可以是具有相同長度的長、短葉齒相間排列。

本發明的單級泵，由一片上述發明結構的旋轉圓盤和一片相對于旋轉圓盤的一側盤面上開有上述發明結構或對數線形結構的抽氣溝槽的定圓盤所組成。

本發明的多級泵，是由若干上述發明單級結構的旋轉圓盤、定圓盤沿軸向相間交錯串聯排列而成。

本發明的多級泵，其各級旋轉圓盤的渦輪葉齒長度及齒數可以不全相同。

本發明的多級泵，其各級旋轉圓盤兩側面都開有上述發明結構的抽氣溝槽，且其兩側面的抽氣溝槽的線形走向相反。

本發明的多級泵，其各級定圓盤盤面上所開圓弧線形抽氣溝槽槽數、槽深及線形長度可以不全相同;同一盤面上所開的抽氣溝槽可以是具有相同長度的長、短圓弧線形槽沿圓周相間分布。

本發明的單級或多級泵，其旋轉圓盤可以采用不帶渦輪葉齒的平板狀旋轉圓盤與上述發明結構的定圓盤組合而成。

發明的具體結構及工作情況由以下附圖及實施例給出。

圖1，根據本發明提出的一種單級盤形渦輪分子泵泵體剖視結構圖。

附圖1說明。

1.抽氣口

2.泵體

3.定圓盤

4.旋轉圓盤

5.排氣口

圖2，根據本發明提出的多級盤形渦輪分子泵，一種葉齒開在旋轉圓盤邊緣處，定圓盤抽氣溝槽呈圓弧線形的七級整體泵局部剖視圖。

附圖2說明。

1.泵的抽氣口法蘭

2.驅動電機主軸

3.旋轉圓盤邊緣上的渦輪葉齒

4.轉子

5.旋轉圓盤

6.兩側盤面開有圓弧線形抽氣溝槽的定圓盤

7.隔離環

8.一側盤面開有圓弧線形抽氣溝槽的定圓盤

9.圓弧線形抽氣溝槽

10.固定螺釘

11.排氣口法蘭

12.指示氣體走向的箭頭

圖3，根據本發明的盤形渦輪分子泵提出的一種在邊緣上開有等長度渦輪葉齒的旋轉圓盤圖。

圖4，根據本發明的盤形渦輪分子泵提出的一種在邊緣上具有相同長度的長、短渦輪葉齒相同排列的旋轉圓盤圖。

圖5，根據本發明的盤形渦輪分子泵提出的一種抽氣溝槽呈圓弧線形，且線形長度相同的長、短抽氣溝槽相間排列的定圓盤圖。

圖7，根據本發明的盤形渦輪分子泵提出的兩種兩側盤面上抽氣溝槽呈直線形的定圓盤圖。