[其他]施利爾雷恩暗場型光閥投影器的偏轉系統

無效

• 申請號: 87105269
• 申請日: 1987-08-01
• 公開（公告）號: CN87105269A
• 公開（公告）日: 1988-03-16
• 發明（設計）人: 阿爾弗萊德·G·盧新
• 申請（專利權）人: 通用電氣公司
• 主分類號: H04N3/16
• 分類號: H04N3/16;H04N9/285
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利代理部
• 代理人: 趙蓉民

1、一種改進的靜電電光系統，用于使在電子束整型孔闌形成的電子束物成像并在掃描光柵區內使所述電子束掃過光柵區，同時在整個掃描區上使電子束保持放大和聚焦，所述系統由下述各部分組成：

偏轉電極組件，包括第一組四個控制電極，筒狀電極和第二組四個控制電極，上述筒狀電極沿上述偏轉電極組件的軸向，位于上述第一與第二組四電極之間，每個四電極組中有一對豎直偏轉極板和一對水平偏轉極板；

用于向第一組豎直偏轉極板上加增量直流電壓，和向第一組水平偏轉極板上加大小相等、極性與豎直極板上相反的增量直流電壓的裝置；

用于向第二組豎直偏轉極板上加與第一組極性相反的增量直流電壓，和向第二組水平偏轉極板上加大小相等，極性與豎直極板上相反的直流電壓的裝置；

多元漂移環組件，它的軸與偏轉電極組件的軸同行。

電子束靶電極，其軸與電極組件的軸分離。

2、權利要求1中所述的改進型靜電電光系統，其中所述電子束整形孔闌有一個矩型截面。

3、在權利要求1中所說的改進型靜電電光系統中，第一組電極的長度是第一組電極間間距的1.2至1.8倍，第二組電極的長度是第二組電極間間距的1.0至1.6倍，由電子束整形孔闌到第一組電極入口的間距是0.5至2.5英吋，由第一組電極出口到第二組電極入口的間距是第一組電極間間距的3至6倍，筒狀電極的直徑是第一組電極間間距的6至10倍，第一和第二漂移環的直徑是第二組電極間間距的1.1至1.25倍。

4、權利要求1中所說的改進型靜電電光系統，其中多元漂移環組件包括：第一和第二漂移環以及電子槍;電子槍的軸與上述偏轉電極組件的軸平行，用來產生射向上述電子束靶電極的電子束;上述電子槍的錐電極上的直流電壓約為5000伏;上述第一組電極的標稱工作電壓為直流+7000伏，其中水平偏轉極板的增量電壓為+60伏，豎直偏轉極板的增量電壓為-60伏;上述第二組電極的標稱工作電壓為直流+30伏，其中水平偏轉極板的電壓為0伏，豎直偏轉極板的電壓為+60伏;上述筒狀電極的工作電壓在直流7000至9000伏之間;第一漂移環的工作電壓在直流+4000至5000伏之間;第二漂移環的工作電壓在直流+5000至7000伏之間;電子束靶電極的工作電壓在直流+4000至6000伏之間。

5、在權利要求4中所說的改進型靜電電光系統中，第一組電極的長度是0.6英吋，第一組電極間間距是0.4英吋;第二組電極的長度是2.6英吋，第二組電極間間距是2.4英吋;由電子束整型孔闌至第一組電極入口的間距是1.5英吋，由第一組電極出口至第二組電極入口的間距是1.9英吋;筒狀電極的直徑是3.5英吋，第一和第二漂移環的直徑是2.9英吋;第二組電極與第一漂移環的間距、第一和第二漂移環間的間距、第二漂移環與電子束靶電極的正常間距都是100密耳。