[其他]硅壓阻式氣壓傳感器無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 87209309 | 申請(qǐng)日： | 1987-06-20 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN87209309U | 公開（公告）日： | 1988-05-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王冬梅 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 北京半導(dǎo)體器件十廠 |
| 主分類號(hào)： | G01L9/00 | 分類號(hào)： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 北京市計(jì)算機(jī)工業(yè)總公司專利事務(wù)所 | 代理人： | 薄觀玖 |
| 地址： | 北京市崇*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 硅壓阻式 氣壓 傳感器 | ||
【權(quán)利要求書】：
1、一種由管帽、可代基座、外引線、引壓管、擴(kuò)散電阻、硅杯芯片、硅墊片組成的硅壓阻式氣壓傳感器，其特征是硅杯芯片的彈性膜外層制作有擴(kuò)散電阻組成的電橋，硅墊片墊在硅杯芯片底部與可代基座的引壓氣孔，重疊粘接，形成氣壓空腔，硅杯芯片旁有一參考?jí)簭?qiáng)孔，參考?jí)簭?qiáng)孔的孔口粘有橡膠膜、擴(kuò)散電阻的內(nèi)壓點(diǎn)與外引線端點(diǎn)連接，將硅杯芯片，參考?jí)簭?qiáng)孔用管帽封裝。
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G01 測(cè)量；測(cè)試
G01L 測(cè)量力、應(yīng)力、轉(zhuǎn)矩、功、機(jī)械功率、機(jī)械效率或流體壓力
G01L9-00 用電或磁的壓敏元件測(cè)量流體或流動(dòng)固體材料的穩(wěn)定或準(zhǔn)穩(wěn)定壓力；用電或磁的方法傳遞或指示機(jī)械壓敏元件的位移，該機(jī)械壓敏元件是用來測(cè)量流體或流動(dòng)固體材料的穩(wěn)定或準(zhǔn)穩(wěn)定壓力的
G01L9-02 .利用改變歐姆電阻值的，例如，使用電位計(jì)
G01L9-08 .利用壓電器件的
G01L9-10 .利用電感量變化的
G01L9-12 .利用電容量變化的
G01L9-14 .涉及磁體位移的，例如，電磁體位移的
G01L 測(cè)量力、應(yīng)力、轉(zhuǎn)矩、功、機(jī)械功率、機(jī)械效率或流體壓力
G01L9-00 用電或磁的壓敏元件測(cè)量流體或流動(dòng)固體材料的穩(wěn)定或準(zhǔn)穩(wěn)定壓力；用電或磁的方法傳遞或指示機(jī)械壓敏元件的位移，該機(jī)械壓敏元件是用來測(cè)量流體或流動(dòng)固體材料的穩(wěn)定或準(zhǔn)穩(wěn)定壓力的
G01L9-02 .利用改變歐姆電阻值的，例如，使用電位計(jì)
G01L9-08 .利用壓電器件的
G01L9-10 .利用電感量變化的
G01L9-12 .利用電容量變化的
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