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[其他]電子器件的制造方法在審

專利信息
申請號: 101985000008626 申請日: 1985-10-28
公開(公告)號: CN1004245B 公開(公告)日: 1989-05-17
發明(設計)人: 山崎舜平;伊藤健二;永山進 申請(專利權)人: 株式會社半導體能源研究所
主分類號: 分類號:
代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利代理部 代理人: 劉暉
地址: 日本國*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 發明公開了一種半導體器件制造方法,其中至少包括一步是形成被刻圖形的層,該層可以是導電金屬層,透明導電層和不透明導電層的或反射的得疊層,或非單晶半導體層;另一步是用波長為400毫微米或更短的激光束在繪有圖形層部分刻出圖形,這些層可以是刻有圖形的導電金屬層,刻有圖形的透明導電層和非透明的或反射導電層的重疊層,或刻有圖形的非單晶半導體層。本發明的優點在于形成的刻有圖形層上沒有任何缺陷。
搜索關鍵詞: 電子器件 制造 方法
【主權項】:
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