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[其他]在半導體圓片的邊緣制造斜面的方法在審

專利信息
申請號: 101987000006903 申請日: 1987-10-13
公開(公告)號: CN1005943B 公開(公告)日: 1989-11-29
發明(設計)人: 吉利·德勞希 申請(專利權)人: BBC勃朗·勃威力有限公司
主分類號: 分類號:
代理公司: 中國專利代理有限公司 代理人: 程天正;吳秉芬
地址: 瑞士*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 一種用于讓半導體圓片(1)的邊緣成形為斜邊的方法,這邊緣由一個傾斜安放的砂輪圓盤磨削而成。處在由壓緊機構(3,6)組成的壓緊裝置中的半導體圓片(1)的對中可藉助于一與之成合金接觸的鉬質圓片(2)完成,鉬質圓片緊貼著仿形圓盤(9)轉動。采用具有適當顆粒度和粘結劑的金鋼石砂輪圓盤是特別有利的。
搜索關鍵詞: 半導體 邊緣 制造 斜面 方法
【主權項】:
暫無信息
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