[其他]在半導體圓片的邊緣制造斜面的方法在審
| 申請號: | 101987000006903 | 申請日: | 1987-10-13 |
| 公開(公告)號: | CN1005943B | 公開(公告)日: | 1989-11-29 |
| 發明(設計)人: | 吉利·德勞希 | 申請(專利權)人: | BBC勃朗·勃威力有限公司 |
| 主分類號: | 分類號: | ||
| 代理公司: | 中國專利代理有限公司 | 代理人: | 程天正;吳秉芬 |
| 地址: | 瑞士*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | 一種用于讓半導體圓片(1)的邊緣成形為斜邊的方法,這邊緣由一個傾斜安放的砂輪圓盤磨削而成。處在由壓緊機構(3,6)組成的壓緊裝置中的半導體圓片(1)的對中可藉助于一與之成合金接觸的鉬質圓片(2)完成,鉬質圓片緊貼著仿形圓盤(9)轉動。采用具有適當顆粒度和粘結劑的金鋼石砂輪圓盤是特別有利的。 | ||
| 搜索關鍵詞: | 半導體 邊緣 制造 斜面 方法 | ||
【主權項】:
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