[其他]在一塊半導體晶片上涂蓋一層感光材料的方法及裝置無效
| 申請號： | 85108189 | 申請日： | 1985-11-10 |
| 公開（公告）號： | CN1003751B | 公開（公告）日： | 1989-03-29 |
| 發明（設計）人： | 赫爾曼·厄恩斯特·杜恩維爾德 | 申請（專利權）人： | 菲利浦光燈制造公司 |
| 主分類號： | 分類號： | ||
| 代理公司： | 中國專利代理有限公司 | 代理人： | 曹永來;李曉舒 |
| 地址： | 荷蘭艾恩德*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | 在一個將一層感光材料涂敷在半導體材料晶片３的方法中，液體狀的感光材料被涂敷在晶片上然后旋轉晶片令感光層達到所需的厚度。存在于晶片３邊緣６的感光材料７由一被引向這個邊緣的液體噴流將感光材料溶解，該噴流首先被引向半導體材料的晶片以外的地方，然后該液體噴流被引向晶片的邊緣，最后，該液體噴流會再次被引向晶片以外的地方并將該液體的供應關上。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 一塊 半導體 晶片 上涂蓋 一層 感光材料 方法 裝置 | ||
【主權項】：
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