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[其他]半導(dǎo)體器件無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 86101789 申請日: 1986-03-19
公開(公告)號: CN86101789A 公開(公告)日: 1986-11-19
發(fā)明(設(shè)計)人: 彼得·丹尼斯·斯科維爾;彼得·弗里德·布洛姆利;羅格·萊斯利·巴克 申請(專利權(quán))人: 標(biāo)準(zhǔn)電話電報公共有限公司
主分類號: H01L27/04 分類號: H01L27/04;H01L21/70;H01L21/04
代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利代理部 代理人: 王以平
地址: 英國*** 國省代碼: 暫無信息
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 一種集成電路,其中,雙極晶體管(1)和CMOS晶體管(2、3)在襯底上同時形成。CMOS晶體管的柵(11、21)與雙極晶體管的發(fā)射極(29)用同一材料形成,雙極器件的基極接觸由相當(dāng)于n阱MOS管的源、漏區(qū)(17、18)的區(qū)域(27、27a)構(gòu)成,并由基區(qū)注入(28)橋接。增加兩次光刻掩膜及一次基區(qū)注入改進(jìn)了普通的CMOS工藝。一次光刻步驟決定(28)的范圍,另一次光刻步驟決定氧化層(30)在(28)上的范圍。基極接觸用半自對準(zhǔn)的方法產(chǎn)生。
搜索關(guān)鍵詞: 半導(dǎo)體器件
【主權(quán)項】:
1、一種集成電路,它包括一個具有一個柵極的MOS晶體管和一個具有與柵材料相同的發(fā)射極的雙極晶體管。
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