【主權項】：

1、一種改進的靜電電光系統，用于使在電子束整型孔闌形成的電子束物成像并在掃描光柵區內使所述電子束掃過光柵區，同時在整個掃描區上使電子束保持放大和聚焦，所述系統由下述各部分組成：偏轉電極組件，包括第一組四個控制電極，筒狀電極和第二組四個控制電極，上述筒狀電極沿上述偏轉電極組件的軸向，位于上述第一與第二組四電極之間，每個四電極組中有一對豎直偏轉極板和一對水平偏轉極板；用于向第一組豎直偏轉極板上加增量直流電壓，和向第一組水平偏轉極板上加大小相等、極性與豎直極板上相反的增量直流電壓的裝置；用于向第二組豎直偏轉極板上加與第一組極性相反的增量直流電壓，和向第二組水平偏轉極板上加大小相等，極性與豎直極板上相反的直流電壓的裝置；多元漂移環組件，它的軸與偏轉電極組件的軸同行。電子束靶電極，其軸與電極組件的軸分離。