[其他]硅壓阻式氣壓傳感器無效
| 申請號： | 87209309 | 申請日： | 1987-06-20 |
| 公開（公告）號： | CN87209309U | 公開（公告）日： | 1988-05-18 |
| 發明（設計）人： | 王冬梅 | 申請（專利權）人： | 北京半導體器件十廠 |
| 主分類號： | G01L9/00 | 分類號： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 北京市計算機工業總公司專利事務所 | 代理人： | 薄觀玖 |
| 地址： | 北京市崇*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 一種由管帽、可代基座、外引線，引壓管、擴散電阻、硅杯芯片、硅墊片組成的硅壓阻式氣壓傳感器、結構簡單，成本低，適用于地下電纜保護氣壓的測量及非腐蝕氣體、液體壓強的測量。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 硅壓阻式 氣壓 傳感器 | ||
【主權項】：
1、一種由管帽、可代基座、外引線、引壓管、擴散電阻、硅杯芯片、硅墊片組成的硅壓阻式氣壓傳感器，其特征是硅杯芯片的彈性膜外層制作有擴散電阻組成的電橋，硅墊片墊在硅杯芯片底部與可代基座的引壓氣孔，重疊粘接，形成氣壓空腔，硅杯芯片旁有一參考壓強孔，參考壓強孔的孔口粘有橡膠膜、擴散電阻的內壓點與外引線端點連接，將硅杯芯片，參考壓強孔用管帽封裝。
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